Skaneeriv elektronmikroskoop (SEM) on väga kõrge eraldusvõimega mikroskoop, mis võimaldab näha pisiasju väga detailselt. See on kiire ülevaade sellest, kuidas proovi kasutades seda pildistada. Pidage meeles, et SEM on väga delikaatne seade ja seda tuleks kasutada väga ettevaatlikult. Nende sammude hoolikas järgimine tagab aga peaaegu, et te ei kahjusta oma mikroskoopi. Samuti on palju muid funktsioone, mida käesolevas artiklis ei käsitleta, kuid see protseduur kirjeldab põhipildi saamist.
See artikkel pakub konkreetseid juhiseid JEOL JSM-6010LA mikroskoobi jaoks. Igal JEOL -mikroskoobil on selles juhendis kirjeldatud mikroskoobiga äärmiselt sarnased juhtnupud. Hitachi mikroskoobid on samuti väga sarnased, kuid teistel kaubamärkidel, näiteks Zeiss, võivad juhtnupud olla erinevates kohtades.
Sammud
Samm 1. Hankige ettevalmistatud proov
Proovi ettevalmistamine elektronmikroskoopiaks on iseenesest väga põhjalik protseduur, seega kasutage selle protseduuri jaoks proovi, mis on teie jaoks ette valmistatud. Kui proov on SEM -i jaoks ette valmistatud, peab see olema sobiva suurusega ja sellel peab olema ka juhtiv pind. Kuna proov on juba ette valmistatud, eeldatakse käesolevas artiklis, et see vastab nendele nõuetele.
Samm 2. Prooviluugi avamiseks viige SEM atmosfäärirõhule
Mõista, et SEM lülitatakse alati sisse ja proovikamber on alati vaakumis. See tähendab, et kamber on gaasimolekulidest täiesti tühi, nii et elektronidel on proovi suunas selge tee. Vajutage ja hoidke all nuppu VENT, kuni see vilgub ja kuulete klõpsatust. Nupp VENT vilgub seni, kuni kambris olev keskkond tõuseb atmosfäärirõhule. Kui nupp VENT on oranž, tähendab see, et kamber on atmosfäärirõhul ja saate ukse avada.
Samm 3. Pange kindad kätte
See on äärmiselt oluline, sest SEM -i kamber peab jääma väga puhtaks!
- Kasutades ukse mõlemal küljel olevaid käepidemeid, libistage uks aeglaselt välja.
- Kui uks on avatud, haarake ettevaatlikult proovihoidikust ja libistage see paremale. See tuleb soontest lahti ja nüüd saate proovi laadida.
- Proovihoidiku igal neljal nurgal on kaks kinnituskruvi, mis hoiavad proovi paigal. Keerake need kruvid veidi lahti (pool kruvikeeraja pööret peaks piisama) ja eemaldage seejärel tooriku proov hoidikust.
- Võite tühja proovi praegu kõrvale panna, kuid kindlasti asetage see Kimwipe'ile, mitte otse lauale või lauale. Asetage proov hoidikusse ja keerake kruvid kinni.
- Kui teie proov on paigas, liikuge edasi ja libistage proovihoidik proovilava soontesse tagasi.
- Nüüd saate ukse sulgeda, lükates ukse tagasi kambrisse.
Samm 4. Hoides ust kinni, vajutage ja hoidke all EVAC -nuppu, kuni see hakkab vilkuma, et panna kamber tagasi vaakumisse
Kuulete klõpse, siis umbes minuti pärast pumbaturbiinide pöörlemist. Need pumbad eemaldavad kambrist kõik gaasiosakesed ja tõstavad siserõhu umbes 10^-6 torrini. Kui EVAC -nupp helendab roheliselt, tähendab see, et kamber on vaakumis. Nüüd oodake veel 5 minutit, enne kui jätkate järgmise sammuga.
Samm 5. Pärast 5 minuti möödumist olete valmis elektronkiire sisse lülitama ja pildistama hakkama
- Minge SEM -i arvutisse ja mikroskoobi tarkvara peaks olema sisse lülitatud. Ekraani paremas ülanurgas oleval rohelisel nupul on kirjas OFF, mis näitab, et elektronkiir on välja lülitatud. Tala sisselülitamiseks klõpsake seda ja seejärel kuvatakse teade SEES.
- Seejärel klõpsake nuppu ACB (automaatne kontrastsus ja heledus) ja teie proov peaks nähtavale tulema.
- Juhtpaneelil oleva suurendusnupu abil suurendage soovitud suurendust. Hea mõte on teravustada suuremal suurendusel, kui soovite oma pildile, seetõttu näeb pilt välja suumides parem välja. Näiteks kui soovite pilti 2, 500x, võiksite keskenduda umbes 4 000x.
- Kui olete sisse suuminud, kasutage fookustamiseks teravustamisnuppu.
Samm 6. Reguleerige proovi kõrgust
Nüüd on teie proov fookuses, kuid võite märgata, et see ei tundu nii hea, kui võiksite oodata.
- Arvutiekraanil oleva proovi pildi all näete töökaugust, mis on määratletud kui "WD x mm", kus x on tavaliselt umbes 10-20. Võtke see number teadmiseks.
- Hea pildi saamiseks võiksite kasutada 10 mm töökaugust. See tähendab, et valgusvihk on fokuseeritud objektiivist 10 mm kaugusele. Töökauguse määramiseks klõpsake "WD x mm" ja kuvatakse liugur, mis võimaldab teil muuta numbri x väärtuseks 10. Minge edasi ja klõpsake 10.
- Praegu on proovi kõrgus Z = 25 mm. Proovi kõrguse muutmiseks kasutate Z-nuppu. See osa võib olla keeruline. Olenemata algsest töökaugusest lahutage arvust 10 ja see on see, kui palju peate Z-nuppu liigutama. Näiteks kui teie WD oli 16 mm ja muutsite selle 10 mm-ks, peate Z-nupu allapoole nihutama umbes 6 mm. Nii keerate selle umbes 19 mm.
- Z-nuppu keerates jälgige ekraani, sest see hakkab fookusesse tulema. Kui see on fookuses, on teie pilt valmis!
Samm 7. Suumige soovitud suurenduseni tagasi ja kui soovite oma proovi teise piirkonda liikuda, saate kasutada nuppe X ja Y
Samuti saate kontrasti ja heledust oma maitse järgi reguleerida. Kui leiate ala, mis teile meeldib, tehke pilt, klõpsates kaameraikoonil, millel on kiri "STORE". See avab dialoogiboksi, kus saate oma pildifaili salvestada. Faili saate valida vastavalt oma valikule ja salvestada selle arvuti mis tahes kausta või mälupulgale.
Samm 8. Lülitage elektronkiir välja, klõpsates rohelist nuppu, mis ütleb paremas ülanurgas "ON"
Enne jätkamist veenduge, et see ütleb "OFF". Keerake nuppe X, Y ja Z nii, et iga väärtus oleks 25 mm. Nüüd vajutage ja hoidke all nuppu VENT, kuni see vilgub, et proovikamber atmosfäärirõhule tagasi viia.
Samm 9. Avage proovikamber, kui nupp VENT on oranž
Kui olete proovi hoidikust eemaldanud, asetage tühi proov tagasi hoidikusse ja libistage see tagasi proovietappi. Lükake uks tagasi suletud asendisse. Lõpuks vajutage ja hoidke all EVAC nuppu, kuni see vilgub. ÄRGE kunagi jätke SEM -kambrit ventileeritavaks, see võib kahjustada sisemisi osi. Kui EVAC -nupp helendab roheliselt, on SEM -ist lahkumiseks salvestatud.
Hoiatused
- On väga oluline kanda kindaid, kui katsute midagi, mis proovikambrisse satub!
- Mitte kunagi jätke SEM -kamber õhku. Kui lahkute SEM -ist, veenduge, et EVAC -nupp helendaks roheliselt.
- Kui teie proovi pole spetsiaalselt SEM -i jaoks ette valmistatud, ärge pange seda mikroskoobi! Mõned proovid lihtsalt ei ilmu hästi, kuid teised võivad sisemisi osi kahjustada.
